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Reinraumüberwachung

Raumdruck | Filter | Air Quality

Wozu wird in Reinräumen gemessen?

Um die Reinheit von Rein- und Sauberräumen dauerhaft zu gewährleisten, müssen spezifische Messgrößen kontrolliert und überwacht werden. Normen und Richtlinien wie die DIN EN ISO 14644-3 fordern eine Überwachung der Temperatur und Lufteuchte mit gewissen Genauigkeiten, im Falle der relativen Luftfeuchte mit einer Messunsicherheit von +/- 2%. Weiterhin fordert die Norm eine Überwachung des Überdrucks im Reinraum, um das Eindringen von Partikeln in die kritischen Bereiche zu verhindern. Der Überdruck des Reinraums zu einem Referenzraum muss dabei zwischen 5 bis 20 Pa betragen, wobei dies mit geeigneten Differenzdruck-Messsystemen überwacht werden sollte. Differenzdruck-Messumformer werden in Reinräumen ebenfalls zur Filterüberwachung eingesetzt, um den Filterverschmutzungsgrad dauerhaft zu überwachen. Weiterhin werden in der Zu- und Abluft die Volumenströme gemessen

Welche Messgrößen werden in Reinräumen gemessen?

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